东莞市中微力合半导体科技有限公司
产品简述
产品概述
按照金刚石的种类区分:
人造金刚石大致可以分为单晶金刚石、聚晶金刚石和纳米金刚石，因此金刚石研磨液也可以分为单晶金刚石研磨液、聚晶金刚石研磨液和纳米金刚石研磨液。
按照分散介质区分:
广泛使用的金刚石研磨液的分散介质有以下三种：水性分散介质、油性分散介质和通用型介质（乳液型介质）。使用时应当根据具体的使用条件来选择合适的研磨液。
应用领域
配合蜂窝垫使用，应用于碳化硅晶圆、蓝宝石、氧化锆、氧化铝、氮化铝陶瓷基板等硬脆材料超表面精细研磨。
产品特点
- 磨料类型多样化，可根据加工材料工艺要求选择合适粒度规格；
- 载体类型选择多，包含水性、油性及乳化型；
- 不同应用环境下粘度可调整，包含低粘度、中等粘度和高粘度；
产品规格及验证参数
| 材料去除率 金刚石液D50 | 碳化硅 晶圆 | 蓝宝石 C向 | 氧化锆 陶瓷 | 氧化铝 陶瓷 | 氮化铝 陶瓷 | 氧化硅 |
| ZW-301(3μm) | 2 | 2.5 | 3.5 | 4 | 3 | 3 |
| ZW-302(2μm) | 1.5 | 1.6 | 3 | 3 | 2.5 | 2.3 |
| ZW-303(1.5μm) | 1 | 1.2 | 2 | 2.5 | 2 | 1.5 |
| ZW-401(1μm) | 0.8 | 1 | 1.2 | |||
| ZW-501(0.5μm) | 0.4 | 0.5 | 0.8 | |||
| ZW-601(0.2μm) | 0.2 | 0.3 | ||||
| ZW-40 | 2.5 |
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